小型真空實驗室熱處理爐是真空技術與熱處理技術相結合的新型熱處理技術，真空熱處理所處的真空環境指的是低于一個大氣壓的氣氛環境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空熱處理實際也屬于氣氛控制熱處理。真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態下進行的，熱處理質量大大提高。與常規熱處理相比，真空熱處理的同時，可實現無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。
主要是利用氣體作為冷卻介質的，可以充入爐內作為工件淬火冷卻介質的氣體主要有：氮、氫、氬以及氦等等。如果從冷卻速度來看的話，對上述的氣體冷卻時間進行比較，假設氫的冷卻時間是1，那么氦是1.2，氮是1.5，氬是1.75，這樣看的話，氫的冷卻速度快，但是，如果從安全的角度來看的話，氫有爆炸的危險，氦的冷卻速度較快，但是價格昂貴，氬的價格也是比較高的，并且冷卻速度低，所以，一般都是使用高純氮作為工件淬火的冷卻介質。當然，如果是根據被處理工件材料的要求，例如鐵合金和氮接觸有氮化的危險，就需要使用氬氣作為冷卻介質。
小型真空實驗室熱處理爐適用于高速鋼、不銹鋼、模具鋼等一些淬透性比較好的材料的真空熱處理，特點是零件變形量小、零件熱處理后不需要清洗。不足之處有淬火氣體不能回收、成本較高。真空高壓氣淬爐從結構上可分為臥式和立式兩種。臥式可分為單室、雙室和三室等。真空熱處理爐的自動化程度之所以較高，是因為金屬工件的加熱、冷卻等操作，需要十幾個甚至幾十個動作來完成。這些動作內在真空熱處理爐內進行，操作人員無法接近。同時，有些動作如加熱保溫結束后，金屬工件進行淬火工序須六個動作并且要在15秒鐘以內完成。在這樣迅速的條件來完成許多動作，是很容易造成操作人員的緊張而構成誤操作。因此，只有較高的自動化才能準確、及時按程序協調動。
熱處理爐根據零件材料可選擇中高溫和低溫，（中高溫800℃～1350℃、低溫800℃）。
